測試條件包括溫度、濕度、蒸氣壓和時間

    注1公差應(yīng)用于整個可用的試驗區(qū)域。
    注2試驗條件應(yīng)持續(xù)施加，除去中間讀數(shù)點。對中間讀數(shù)點，器件件應(yīng)在5.2規(guī)定時間內(nèi)返回加壓。
    注3本文件之前的版本規(guī)定以下試驗條件。
    條件A：24hrs（-0，+2）
    條件B：48hrs（-0，+2）
    條件C：96hrs（-0，+5）
    條件D：168hrs（-0，+5）
    條件E：240hrs（-0，+8）
    條件F：336hrs（-0，+8）
    試驗時間由內(nèi)部鑒定要求、JESD47或適用的程序文件規(guī)定。典型為96小時。
    注意：對塑封微電路，濕氣會降低塑封料的有效的玻璃化溫度。在有效的玻璃化溫度之.上的應(yīng)力溫度可能導(dǎo)致與操作使用相關(guān)的失效機理。
    4.程序
    受試器件應(yīng)以一定方式固定，暴露在規(guī)定的溫度、濕度條件下。應(yīng)避免元件置于100℃以上和小于10%R.H.濕度的環(huán)境中，特別是上升、下降和先期測量干燥期間。上升和下降時間應(yīng)分別小于3小時。在設(shè)備控制和冷卻程序時要特別小心防止受試器件受到破壞性的降壓。確保減少污染，經(jīng)常清潔試驗腔體。
    4.1試驗周期
    溫度和相對濕度達到第4條規(guī)定的設(shè)定點啟動試驗計時，并在下降開始點停止計時。
    4.2測試
    電測試應(yīng)在下降結(jié)束降到室溫不早于2小時，不超過48小時內(nèi)進行。對于中間測量，在下降階段結(jié)束后96小時內(nèi)器件恢復(fù)應(yīng)力。器件從高壓蒸煮試驗箱移出后,可以通過把器件放入密封的潮濕袋(無干燥劑)中來減小器件的潮氣釋放速率。當器件放入密封袋時，測試時間計時以器件暴露于實驗室環(huán)境中潮氣釋放速率的1/3來計算。這樣通過把器件裝入潮氣密封袋中測試時間可延長到144小時，壓力恢復(fù)時間也延長到288小時。
    4.3處理
    應(yīng)使用消除任何來源的附帶污染或靜電放電損壞的手環(huán)，處理器件和測試夾具。在本試驗和任何高加速濕氣應(yīng)力試驗中，污染控制是重要的。
    5.失效判據(jù)
    如果試驗后，器件參數(shù)超過極限值，或按適用的采購文件和數(shù)據(jù)表中規(guī)定的正常和極限環(huán)境中不能驗證其功能時，器件視為失效。由于外部封裝損傷造成的電失效不作為失效標準考慮范圍。
    6. 安全性
    遵守設(shè)備生產(chǎn)廠家建議和當?shù)匕踩ㄒ?guī)。
    7.說明
    有關(guān)的采購文件中應(yīng)規(guī)定如下內(nèi)容:
    a)試驗持續(xù)時間
    b)試驗后測量